Хэрэглээний танилцуулга
Хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлийн автоматжуулсан материалын хадгалалт, менежмент
Үүнд хамаарна:
1. Өндөр нягтралтай хадгалах, өндөр зайны ашиглалт, өндөр зайг бүрэн ашиглах
2. Хурдан цохилт
3. Цехийн материалын удирдлагын системд нэгдсэн
4.Хурдан хэрэгжилт, автомат түвшний заах тест
5.ARV/OHT/OHS/гарын авлага болон бусад автомат процессуудтай нийцдэг
6. Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 стандарт, ESD стандартуудыг хангасан.
Функцын танилцуулга
*Энэ нь хагас дамжуулагчийг онлайнаар хадгалах, FOUP, CASSETTE, сэтгүүл, тавиур болон бусад зүйлсийг дэмжихэд ашиглагддаг.
*ARV-ээр залгах боломжтой, гараар ачиж буулгах боломжтой
*Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 стандарт болон ESD стандартуудтай нийцдэг
*Стандарт SEMI програм хангамжийн интерфейс
* Модульчлагдсан загвар
Блок 4. No.358 Жинху зам, Пудун дүүрэг, Шанхай, Хятад